فضاهای معماری مسجد مشتمل بر شبستانی گنبددار شامل پنج رواق است. آن چه از معماری بنا بر جای مانده،حکایت از آن دارد که تنها دو دهانه غربی گنبد مقابل محراب دارای تزئینات بوده که شامل گچ بری های مطبق اسلیمی بر تاق های رواق محراب،رنگ های الوان بر روی اندود گچ،ستون نماها با طرح مارپیچ و کاشی سفید و آبی در اطراف محوطه محراب بوده است. بر اساس شواهد موجود سبک بنا به معماری سده هشتم نزدیک تر می نماید. در متون ،بانی خیر مسجد عتیق را (رضی الدین احمد متولی) و متعلق به 720 ه.ق ذکر نموده اند.
